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乱視矯正/乱視矯正

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対物レンズ開口自体は、光学軸を中心とした完全でない場合、非点収差を導入することができる。 一方、非点収差は、試料支持ホルダーの近傍の位置から位置に変化する。 Ems(電子顕微鏡)の空間分解能は対物乱視に非常に敏感である。 従って、Emsにおいて(特にTEMにおいて)最良の空間分解能を得るためには、しばしば、試料上の非点収差を注意深く補正することが必要である。

TEMイメージングでは、オーバーフォーカス条件下で小さな穴の端付近のフレネルフリンジを見ることによって、対物乱視を便利に調整します。 また、客観的な乱視を補正するために使用できる他の技術もある。

図1965aは、JEOL JEM-2010F TEMsにおけるSTEMモードでの電子プローブ形成システムの構造を示しています。

JEOL JEM-2010F TEMsにおけるSTEMモードにおけるプローブ形成電子光学の模式図

図1965a.JEOL JEM-2010F TEMsにおけるSTEMモードにおけるプローブ形成電子光学の模式図。

図1965bは、異なる画質のトンリングを示しています。

異なる画質のトンリング

図1965b.画像品質の異なるトンリング:(A)良好;(B)非点性による異方性;(C)試料ドリフトによる異方性。

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