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Obiettivo stigmator/correzione astigmatismo

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L’obiettivo diaframma stesso può introdurre l’astigmatismo se non è perfetto, centrato sull’asse ottico. D’altra parte, l’astigmatismo cambia da posizione a posizione in prossimità del supporto del campione. La risoluzione spaziale in EMs (microscopi elettronici) è molto sensibile all’astigmatismo obiettivo. Pertanto, al fine di ottenere la migliore risoluzione spaziale in EMs (specialmente in TEM) è spesso necessario correggere attentamente l’astigmatismo sul campione.

Nell’imaging TEM, l’astigmatismo obiettivo viene opportunamente regolato visualizzando le frange di Fresnel vicino al bordo di un piccolo foro in condizioni di overfocus. Ci sono anche altre tecniche che possono essere utilizzate per correggere l’astigmatismo obiettivo.

La figura 1965a mostra la struttura del sistema di formazione della sonda elettronica in modalità STEM in JEOL JEM-2010F TEMs.

Illustrazione schematica dell'ottica elettronica formatrice sonda in modalità STEM in JEOL JEM-2010F TEMs

Figura 1965a. Illustrazione schematica dell’ottica elettronica formatrice sonda in modalità STEM in JEOL JEM-2010F TEMs.

La figura 1965b mostra gli anelli Thon con diverse qualità dell’immagine.

 Thon anelli con diverse qualità di immagine

Figura 1965b. Questi anelli con diverse qualità di immagine: (A) buono; (B) anisotropico per astigmatico; (C) anisotropico per deriva del campione.

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