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Correction objective du stigmate/ de l’astigmatisme

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L’ouverture de l’objectif elle-même peut introduire de l’astigmatisme si elle n’est pas parfaite centrée sur l’axe optique. D’autre part, l’astigmatisme change d’un emplacement à l’autre à proximité du support de l’échantillon. La résolution spatiale en EMS (microscopes électroniques) est très sensible à l’astigmatisme objectif. Par conséquent, afin d’obtenir la meilleure résolution spatiale en EMs (en particulier en TEM), il est fréquemment nécessaire de corriger soigneusement l’astigmatisme sur l’échantillon.

En imagerie TEM, l’astigmatisme objectif est ajusté de manière pratique en regardant les franges de Fresnel près du bord d’un petit trou dans des conditions de mise au point excessive. Il existe également d’autres techniques qui peuvent être utilisées pour corriger l’astigmatisme objectif.

La figure 1965a montre la structure du système de formation de sondes électroniques en mode TIGE dans les TEMs JEOL JEM-2010F.

 Illustration schématique de l'optique électronique formant sonde en mode TIGE dans les TEMs JEOL JEM-2010F

Figure 1965a. Illustration schématique de l’optique électronique formant sonde en mode TIGE dans les TEMs JEOL JEM-2010F.

La figure 1965b montre des anneaux Thon avec différentes qualités d’image.

 Anneaux Thon avec différentes qualités d'image

Figure 1965b. Anneaux Thon avec différentes qualités d’image: (A) bon; (B) anisotrope dû à l’astigmatisme; (C) anisotrope dû à la dérive de l’échantillon.

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