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Objektiver Stigmator / Astigmatismuskorrektur

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Die Objektivöffnung selbst kann Astigmatismus verursachen, wenn sie nicht perfekt auf der optischen Achse zentriert ist. Andererseits ändert sich der Astigmatismus von Ort zu Ort in der Nähe des Probenträgerhalters. Die räumliche Auflösung in EMs (Elektronenmikroskopen) ist sehr empfindlich gegenüber objektivem Astigmatismus. Um die beste räumliche Auflösung in EMs (insbesondere in TEM) zu erhalten, ist es daher häufig erforderlich, den Astigmatismus auf der Probe sorgfältig zu korrigieren.

Bei der TEM-Bildgebung wird der objektive Astigmatismus bequem eingestellt, indem die Fresnel-Ränder nahe dem Rand eines kleinen Lochs unter Überfokusbedingungen betrachtet werden. Es gibt auch andere Techniken, die verwendet werden können, um den objektiven Astigmatismus zu korrigieren.

Abbildung 1965a zeigt die Struktur des elektronensondenbildenden Systems im STEM-Modus in JEOL JEM-2010F TEMs.

Schematische Darstellung der sondenbildenden Elektronenoptik im STEM-Modus in JEOL JEM-2010F TEMs

Abbildung 1965a. Schematische Darstellung der sondenbildenden Elektronenoptik im STEM-Modus in JEOL JEM-2010F TEMs.

Abbildung 1965b zeigt zwei Ringe mit unterschiedlichen Bildqualitäten.

Farbringe mit unterschiedlichen Bildqualitäten

Abbildung 1965b. Farbringe mit unterschiedlichen Bildqualitäten: (A) gut; (B) anisotrop durch Astigmatismus; (C) anisotrop durch Probendrift.

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